Teledyne API470溶解臭氧分析儀（0-150mg/L）
470是先進的溶解臭氧測量模塊，為半導體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設計。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L的溶解臭氧測量。470已完成預備清潔，能夠滿足高純度半導體過程的需求，并且可簡單的直接拼接進任何濕法處理的環(huán)流回路中， 很高支持150 SLPM的流量。
470型傳感器使用雙路取樣傳感技術，達到了無與倫比的性能，且擺脫了對參比液體測量的需求。
通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內部連接電纜。470傳感器能夠通過模擬或數字信號向濕法處理過程控制臺遠程報告測量的濃度。
特點
現場檢測
在線且全流量監(jiān)測
直線通過的流型
無移動部件
無消耗品
測量范圍 很高達150 mg/L
遠程零點校準
高精度紫外吸收法
雙光道采樣感應技術
不需求日常維護
半導體級別濕式材料
緊湊的特氟龍外殼
特氟龍7包裹的內部連接電纜
規(guī)格
測量原理：紫外線吸收，雙光路樣品感測技術
紫外線光源：低壓汞燈
測量單位：ppmw，毫克/升
量程：高達150 mg / L（150 ppmw）
精度：0.5 mg / L或讀數的1％（以較大值為準）
水流量： 很高150 SLPM
采樣端口：1英寸，3/4英寸，1/2英寸Flaretek接頭
很大壓力：55磅/平方英寸
接觸材料：鐵氟龍，藍寶石，與半導體工藝兼容
外殼 ：PTFE鐵氟龍
尺寸：144 x 171 x 82毫米
維護：每24個月更換一次紫外線燈。沒有其他預定的維護。
電纜：鐵氟龍護套
電源：+15伏直流
模擬量輸出：4至20 mA或0至5 VDC，出廠配置
數字量I / O：RS232或RS485，出廠配置
遠程較零：通過DB15進行遠程零位校準
應用
液態(tài)溶解臭氧
半導體濕法清洗系統(tǒng)
超純水系統(tǒng)
制藥業(yè)
水處理
其他工業(yè)過程
